7月8日,临港科创园区重点引进的半导体装备企业魅杰光电科技(上海)有限公司(以下简称“魅杰光电”),在园区的大力支持下,通过主动研发,积极探索,成功出货了国内首台应用于滤波器行业的光学关键尺寸量测设备(OCD)。
在国外关键部件禁运的形势下,目前业内普遍采用的是CD SEM进行测试,一台设备售价高达上千万,并且电子对测量样品的损伤很大,尤其是光刻后的测试。魅杰光电OCD检测设备的交付,对于打破行业壁垒,填补国内技术空白有着重要意义,在极大提升检测效率的同时进一步降低了检测成本,为中国半导体芯片制造企业提供了更先进高效的检测解决方案。
魅杰光电计划在未来1年内推出更先进的第三代化合物半导体无图缺陷检测以及应用于90/65nm制程的CD量测机台,向国际一流半导体装备企业迈进。
(客户现场装机)
魅杰光电成立于2015年,专业从事高端微电子检测装备制造,集设备研发、生产、经营为一体的高科技企业。从成立至今,公司一直坚持自主创新,已经形成了从光学设计、图形处理、算法分析以及控制技术完全自主知识产权的光、机、电、算一体化的半导体量测技术解决方案。公司目前产品主要涵盖关键尺寸检测、缺陷检测、套刻精度检测三大类产品,主要应用在第三代化合物半导体、滤波器、硅基OLED、功率器件以及CIS先进封装等新兴市场领域。
公司核心技术人员,均来自于国内外顶级半导体检测装备公司,研发经验均在10年以上,在半导体检测装备领域具有深厚的技术积累。公司成立至今已有30多项发明专利,尤其是在检测设备核心算法领域拥有完全自主开发的软件算法架构,能够应对不同客户复杂的工艺检测需求。
目前公司检测设备已在国内10余家主流芯片制造企业大规模量产应用,魅杰光电将始终秉承以客户需求为导向,持续创新,不断追求卓越,为新材料、新工艺、新领域客户提供更先进的检测解决方案。